Seramik Kapasitif Mutlak Basınç Sensörü

Seramik kapasitif mutlak basınç sensörü, çekirdek malzemesi olarak alümina seramiği kullanan ve kapasitanstaki değişiklikleri tespit ederek mutlak bir vakum referans noktasına göre basıncı ölçen bir sensör türüdür.

 

Basitçe söylemek gerekirse, referans boşluğu vakum altında hava geçirmez şekilde kapatılmış olarak, basıncı doğrudan kapasitanstaki bir değişime dönüştüren bir "değişken kapasitör"dür.

Temel bileşeni, genellikle çok-katmanlı birlikte-ateşleme teknolojisi kullanılarak üretilen seramik kapasitif algılama çekirdeğidir:

Yapı:Sabit elektrotlu seramik bir alt tabaka ve hareketli elektrot görevi gören seramik ince bir filmden (diyafram) oluşur ve cam hamuru kullanılarak yüksek sıcaklıklarda birbirine bağlanır.

Bağlamanın ardından aralarında son derece küçük, hermetik olarak kapatılmış bir vakum referans boşluğu oluşturulur. Mutlak basınç ölçümüne ulaşmanın anahtarı budur.

Bu yapı paralel-plakalı bir kapasitör oluşturur:

• Plaka 1: Sabit alt elektrot (seramik alt tabaka üzerine basılmıştır).
• Plaka 2: Hareketli üst elektrot (seramik diyaframın kendisi, genellikle metalizedir).
• Dielektrik: Vakum (referans boşluğunun içinde) ve seramik.

• Başlangıç ​​Durumu:Mutlak vakum altında seramik diyafram deforme olmaz ve kapasitans değeri bir başlangıç ​​değeri olan C₀'dir.
• Uygulanan Basınç:Seramik diyaframın dış tarafına dış basınç (mutlak basınç) etki ettiğinde diyafram, vakum referans boşluğuna doğru hafif bir bükülme deformasyonuna uğrar.
• Kapasite Değişimi:Bu deformasyon iki kapasitör plakası arasındaki mesafenin azalmasına neden olur.
  Paralel-plaka kapasitör formülü C=εA/d'ye (burada ε geçirgenlik ve A göreceli plaka alanıdır) göre, mesafedeki bir azalma C kapasitans değerinde bir artışa neden olur.

• Sinyal Ölçümü:Sonraki özel bir devre (tipik olarak bir ASIC - Uygulamasına-Özel Entegre Devre), kapasitanstaki bu çok küçük değişikliği algılar, onu dönüştürür, güçlendirir ve doğrusallaştırır ve son olarak mutlak basınçla orantılı standartlaştırılmış bir sinyal (voltaj veya dijital sinyal gibi) çıkarır.

Popüler Etiketler: seramik kapasitif mutlak basınç sensörü, Çin seramik kapasitif mutlak basınç sensörü tedarikçileri, Elektrikli dönüştürücü, Basınca duyarlı sensörler, Rezonans basınç sensörü, Sensör kalitesi, Statik basınç probu